型號(hào)

SURFCOM 130A

測(cè)量范圍

X軸（橫向）

50m

Y軸（縱向）

800mm(測(cè)量范圍/分辯率：800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm)

直線度精度

0.3mm/50mm

分析項(xiàng)目

使用規(guī)格

JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規(guī)格

參數(shù)

Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.

TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc

AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR

評(píng)價(jià)曲線

剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動(dòng)圓波紋度曲線、滾動(dòng)圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線（Motif）、波紋度中心曲線（Motif）、包絡(luò)波紋度曲線

表面特性圖表

負(fù)荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線

傾斜補(bǔ)償方式

直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、花鍵補(bǔ)償、（直線、R面、兩端補(bǔ)償可以在任意范圍內(nèi)）

倍率

縱倍率（Z軸）

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自動(dòng)

橫倍（X軸）

1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動(dòng)

濾波器的種類

標(biāo)準(zhǔn)型濾波器2RC、相位補(bǔ)償型濾波器2RC、相位補(bǔ)償型濾波器（高斯濾波器）

測(cè)量速度

0.3、0.6、1..5  3mm/s(4速)

傳感器

前端半徑2mm、材質(zhì)為金剛石、測(cè)量力為0.75mN

*的功能

測(cè)量AI

裝載有測(cè)量AI功能、即使初學(xué)者也可容易掌握

段差分析功能

zui適于測(cè)量半導(dǎo)體零部件的膜厚及面積

PC卡

輸出文本文件、將數(shù)據(jù)傳送至電腦

標(biāo)準(zhǔn)配件

標(biāo)準(zhǔn)片E-MC-S24B、記錄紙（E-CH-S21A）、觸摸筆（E-MA-S54A）操作說(shuō)明書(shū)

各要 素

電源

AC100~240V±10%、50/60Hz、30VA

設(shè)置尺寸

700（W）*300（D）*150（H）mm

質(zhì)量

8Kg